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★工作原理：
在压力升高时，碳分子筛吸附氧产生氮气，在压力降低时，碳分子筛开始脱附氧气，在压力降至常压时，碳分子筛完全脱附氧气再生。变压吸附制氮设备通常有两只吸附塔，通过可编程序控制器（PLC）控制气动阀的开闭，因此实现两塔可以交替循环，一只塔吸氧产氮，另一只塔脱氧再生，如此不断产出所需纯度的氮气。
★流程说明：
空气压缩部分：空压机、空气储罐；
空气净化部分：高效除油器、精密过滤器、压缩空气干燥机、空气缓冲罐、活性炭过滤器；
SMT用制氮机主机部分：吸附塔、PLC控制器、氮气粉尘过滤器、氮气储罐，以压缩空气作为原料和动力，通过变压吸附制取纯度为95%～99.9995%的氮气；
氮气纯化部分：利用碳载纯化装置(加氢纯化装置)对99.9%的普氮进行提纯，得到高纯度氮气(99.999%～99.9995%)。
★组件说明：
空气压缩机：空压机是提供气源的主要部分，经过压缩的空气首先通入压缩空气净化组件除水、除油后进入空气净化组件。
4.1空气净化装置
空气净化组件由高效过滤器、冷冻干燥机、精过滤器、超精过滤器、催化剂除油器等组成，压缩空气进入管道过滤器除去＞1μm的微粒及大部分的水，保障冷冻干燥机和后级过滤器的正常使用，经冷冻干燥机使之强制冷却到5℃左右，使空气中的水汽凝结成水，通过分水过滤器分离并过滤后，由排污阀排出，使压缩空气露点达到-10℃，经精过滤器过滤＞0.01μm的微粒及油水，再进入超精过滤器过滤油、水;过滤精度＞0.001μm,经除油器中的活性碳吸附残余的微量的油雾，得到洁净的压缩空气通过管道进入氮氧分离系统,保证分子使用长寿。
4.2空气储气罐组件
空气储气罐其作用是保证系统的平稳用气，降低气流脉动 ，起缓冲作用，从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化系统，以便充分除去油水杂质，减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时，在氧氮分离系统进行周期工作切换时，也为氧氮分离系统提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，从而使吸附塔内的吸附压力很快上升到工作压力，保证了设备稳定运行。
4.3氧氮分离系统
氧氮分离系统是制氮机的核心部分，由两只吸附塔、压缩装置、程控阀、等部件组成，我院采用高品质的进口阀门，无泄漏使用寿命长达300万次以上，为整套装置提供了可靠的性能保障。
4.4氮气缓冲罐
氮气缓冲罐主要是由缓冲罐、粉尘过滤器、流量计、调压阀、节流阀等组成，以用户现场提供稳定的氮气源。
5、应急备用氮气源；
适用于供气不允许停气和短时瞬间用气量大的场合，当设备故障、停电不能给用气端供气或设备产氮能力短时瞬间不能满足终端用气时，通过气动阀自动切换至备用氮气源，由备用氮气源供气补充，这些备用氮气源如氮气储罐、液氮等等，包含不合格氮气自动排空功能。
★应用领域与用途
电子工业：半导体及电子元件生产的氮气保护。
热处理：光亮退火，保护加热，粉末冶金机磁性材料烧结等。
食品工业：配置除菌过滤器，可用于充氮包装，粮食储藏，蔬果保鲜，酒类和保存。
煤炭工业：井下防爆盒每天防火灭火。
化学工业：氮气覆盖，置换，清洗，压力输送，化学反应搅动，化纤生产保护等。
石油天然气工业：石油炼制，容器机管路充氮吹扫盒检漏。注氮采油。
医药工业：中西药充氮储藏，充氮药材气动传送等。
电缆行业：交联电缆生产保护气。
其他：冶金工业，橡胶工业，航天工业等。
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